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【24h】

各層でスパッタガスを変えて作製したAl/Ag膜の特性評価

机译:通过改变每层溅射气体制备的Al / Ag膜的表征

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摘要

【緒言】我々は、Ag膜にAl極薄表面層を積層させたAl/Ag膜の高温・高湿度下での凝集耐性を報告してきている。これまで、両層を全てAr[1]またはKr[2]の単一のガスを用いてスパッタ成膜してきたが、ガスとターゲット金属の質量比を考慮すると各層を最適なガスで成膜することにより、より優れた物性が得られる可能性がある。そこで本研究では、各層でスパッタガスを変えて作製したAl/Ag膜の特性を調査する。
机译:[介绍]我们已经报道了在高温下的聚集电阻和Al / Ag膜的高湿度将Al外来表面层层压到Ag膜中。到目前为止,所有层都是使用Ar [1]或Kr [2]的单个气体溅射的,但是当考虑气体和靶金属的质量比时,每层通过做出最佳的气体沉积,更好的物理性质可以获得。因此,在本研究中,研究了通过改变每层溅射气体所产生的Al / Ag膜的特性。

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