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非鉛BiFeO_3 圧電膜を用いた圧電MEMS 振動発電素子のランダム振動印加時の発電特性

机译:用非引导BIFEO_3压电膜随机振动应用随机振动应用时的发电特性

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摘要

近年、IoT 社会到来に向けて身近にある光、温度差、振動などから電気エネルギーに変換する環境発電が注目されている。我々は構造が簡便で小型化に有利な圧電MEMS 振動発電素子の研究開発を進めている。今までに非鉛圧電体であるBiFeO_3(BFO)に着目し、優れた圧電体として知られるPb(Zr,Ti)O_3 を用いた振動発電素子と同等以上の発電性能を実現している1)。今回、実環境に近いランダム振動を用いて特性評価を行ったので報告する。
机译:近年来,熟悉物联网社会到达的光,温差,振动等的电能要转换的环境发电正在引起关注。我们很容易小型化压电MEMS振动发电我们正在推广设备的研发。到目前为止,专注于BIFEO_3(BFO),是一个非铅压选民,优秀的压电实现了使用Pb(Zr,Ti)O_3的电力产生性能等于或高于振动发电元件的振动发电元件1)。现在我们使用靠近真实环境的随机振动报告特征评估。

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