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Fabrication and electrochemical properties study of LiSiPON electrolyte films

机译：Lisipon电解质薄膜的制备和电化学性质研究

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The LiSiPON electrolyte films were prepared by magnetron sputtering method with different N_2 working pressure. The structure, morphology, composition and the relationship between ionic conductivity and N content were studied in detail. The result showed that N content in the films depended on N_2 partial pressure. With the N_2 partial pressure increasing, N content increased firstly and gained a maximum values then decreased. N content in the LiSiPON films affected the ionic conductivity of the films. The ionic conductivity of the films increased with the N content increasing, and could reach a maximum value 10. 4X10~(-6)S/cm.
机译：通过具有不同N_2的工作压力的磁控溅射法制备Lisipon电解质膜。 详细研究了结构，形态，组成和离子电导率和N含量的关系。 结果表明，薄膜中的N含量依赖于N_2分压。 随着N_2分压增加，第一含量增加并获得最大值然后降低。 Lisipon薄膜中的N含量影响了薄膜的离子电导率。 薄膜的离子电导率随N含量的增加而增加，并且可以达到最大值10. 4×10〜（-6）S / cm。

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