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首页> 外文会议>IEEE-EMBS Conference on Biomedical Engineering and Sciences >Soft lithography of microfluidics channels using SU-8 mould on glass substrate for low cost fabrication
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Soft lithography of microfluidics channels using SU-8 mould on glass substrate for low cost fabrication

机译：微流体通道的软光刻，使用SU-8模具玻璃基板，用于低成本制造

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Soft lithography describes the moulding of polymers using master templates, a technology that is widely used in microfluidics fabrication. This study outlines a quick and low cost soft lithography processing using negative photoresist (PR) SU-8 on glass substrate to create a master template for subsequent Polydimethylsiloxane (PDMS) replication in overall microfluidics fabrication. Two types of negative PR, SU-8 5 and SU-8 2015 are used in this study to increase the adhesion of the resist. Inkjet transparent mask is used as microfluidic photomask instead of expensive chrome mask and the design was made on AutoCAD software. Results from high power microscopy (HPM) and 3D profilometer show successful fabrication with <;0.1 mm variance between the dimensions in the original design and the dimensions after the lithography process. The thickness and surface roughness of micro channels in SU-8 master template and PDMS replicate is ~100 μm and ≤0.15 μm for both fabricates, respectively. SU-8 was chosen for master template for its superior properties and low cost fabrication with short processing time.
机译：软光刻描述了使用母模板的聚合物的模塑，这是一种广泛用于微流体制造的技术。本研究概述了使用玻璃基板上的负光致抗蚀剂（PR）SU-8的快速和低成本的软光刻处理，以制造总体微流体制造中的后续聚二甲基硅氧烷（PDMS）复制的母模板。本研究中使用了两种类型的负PR，SU-8 5和SU-8 2015，以增加抗蚀剂的粘附性。喷墨透明掩模用作微流体光掩模，而不是昂贵的铬掩模，并且设计是在AutoCAD软件上进行的。高功率显微镜（HPM）和3D轮廓仪的结果表明，在原始设计中的尺寸和光刻工艺之后的尺寸之间的尺寸与0.1mm方差之间的成功制造。 SU-8主模板和PDMS复制的微通道的厚度和表面粗糙度分别为两种制造的〜100μm〜≤0.15μm。选择SU-8用于母模板，其优异的性能和低成本制造具有短的处理时间。

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