Optimization Based on ANSYS Electric Numerical Method for a Novel MEMS ESI-MS Ion Focusing Device

机译：基于ANSYS电数值方法的新型MEMS ESI-MS离子聚焦装置优化

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In order to improve the ion transmission efficiency from atmospheric pressure MEMS electrospray (ESI) ion source to mass spectrometry (MS), a novel ion focusing device has been developed and simulated by FEM method (ANSYS). The ion focusing device consists of two electrodes with progressively smaller internal diameters to which electric potential are applied. Taguchi DOE has been used in the optimization process of the structures and critical dimensions for the device. Postprocessing has been implemented by Kriging interpolation method. The shapes of equipotential lines are measured to obtain the response for Taguchi DOE by CAD software. The significance of each factor and optimized structure has been obtained by signal-to-noise (S/N) ratio and means variance analysis. The simulation results will provide good reference for experiments.

机译：为了提高从大气压MEMS电喷雾（ESI）离子源到质谱（MS）的离子传输效率，开发了一种新型的离子聚焦装置，并通过FEM方法（ANSYS）进行了仿真。离子聚焦装置由两个内径逐渐减小的电极组成，在该电极上施加电势。 Taguchi DOE已用于设备结构和关键尺寸的优化过程中。后处理已通过克里格插值法实现。通过CAD软件测量等势线的形状以获得田口DOE的响应。通过信噪比（S / N）和均值方差分析获得了每个因素和优化结构的重要性。仿真结果将为实验提供参考。

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来源
《International Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology;Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology》|2010年|p.727-730|共4页
会议地点 Xian(CN);Xian(CN)
作者
Cuihong Yue; Helin Zou;
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作者单位

Research Center for Micro System Technology, School of Mechanical Engineering, Dalian University of Technology, Dalian, 116023, China;

Research Center for Micro System Technology, School of Mechanical Engineering, Dalian University of Technology, Dalian, 116023, China;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类光学仪器;微电子学、集成电路（IC）;
关键词
ESI/MS; MEMS; FEM; ANSYS; equipotential line; taguchi DOE; electrostatic;

机译：ESI / MS； MEMS;有限元ANSYS;等势线Taguchi DOE;静电的;

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