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Soft lithography fabricated polymer waveguides and 45° inclined mirrors for card-to-backplane optical interconnects

机译：软光刻制造的聚合物波导和用于卡到背板光学互连的45°倾斜镜

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Polymer waveguides with 45° mirrors are fabricated by vacuum assisted microfluidic (VAM) soft lithographic technique for card-to-backplane optical interconnect applications. Waveguide array structures with inclined surfaces in SU-8 photoresist for PDMS mo

机译：具有45°反射镜的聚合物波导是通过真空辅助微流体（VAM）软光刻技术制造的，用于卡到背板的光学互连应用。 SU-8光刻胶中用于PDMS mo的具有倾斜表面的波导阵列结构

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来源
《Optoelectronic Interconnects XII.》|2012年|p.1-6|共6页
会议地点 San Francisco CA(US)
作者
Guomin Jiang; Sarfaraz Baig; Michael R. Wang;
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作者单位

Univ. of Miami (USA);

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类光电子技术的应用;光电子技术的应用;
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