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【24h】

UNCERTAINTY ANALYSIS OF POLARIZATION INTERFEROMETRIC MEASUREMENTS OF HARD-DISK DRIVE RECORDING HEAD-MEDIA DYNAMIC SPACING

机译：硬盘驱动记录磁头动态间距的偏振干涉测量的不确定度分析

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In this paper the numerical method based on Monte-Carlo techniques is utilized for the analysis of the flying height measurement uncertainty. In the current flying height tester, the prediction of error is the main concern in order to assure the attainable precision. In previous study, a simplified analytical method is normally used and it may not provide the accurate results of the error prediction especially when the amount of the flying height values becoming as low as sub-5 nm. In this paper, instead of using the analytical method for error analysis, the numerical method based on Monte-Carlo techniques is utilized. Our simulation results show that the measurement uncertainty is mainly from the variation in the optical constants of the DLC layer. They also show that the increasing of standard deviation of the optical constants of DLC layer causes the higher measurement uncertainty.
机译：在本文中，基于蒙特卡洛技术的数值方法被用于分析飞行高度测量的不确定性。在当前的飞行高度测试仪中，误差的预测是主要的考虑因素，以确保可获得的精度。在先前的研究中，通常使用简化的分析方法，并且可能无法提供准确的误差预测结果，尤其是当飞行高度值的量变得低至5 nm以下时。在本文中，不是使用分析方法进行误差分析，而是使用基于蒙特卡洛技术的数值方法。我们的仿真结果表明，测量不确定度主要来自DLC层光学常数的变化。他们还表明，DLC层光学常数标准偏差的增加会导致更高的测量不确定度。

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