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【24h】

A 34 GHz f_T Bipolar Process with High-Energy-Implanted Collertor

机译:具有高能量植入物收集器的34 GHz f_T双极工艺

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摘要

A substitution of buried layer and subseqent epitaxy in high performance double-poly Bipolar and 0.5#mu#m BiCMOS processes with a single low-cost High ENergy Collector Implant(HENCI) has been investigaed. A yield of 99
机译:已经研究了用单个低成本的高能量集电极植入物(HENCI)替代高性能双多晶硅双极和0.5#μm的BiCMOS工艺中的掩埋层和随后的外延。产量为99

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