• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>The proceedings of AD 2007: Process control amp; compliance: analytical solutions >PREPARING TRACE MOISTURE STANDARDS IN REACTIVE MATRIX GASES
【24h】

PREPARING TRACE MOISTURE STANDARDS IN REACTIVE MATRIX GASES

机译：制备活性矩阵气体中的微量水分标准

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

The measurement of trace concentrations of water vapor in reactive gases is important forrnproduct quality assurance in the semiconductor industry. It is also important in the chemicalrnindustry for process control and preventing corrosion. A number of techniques for measuringrntrace moisture in ammonia (NH3), hydrogen chloride (HCl), chlorine (Cl2) and other reactiverngases have been developed, but producing standards for system calibration and data validationrnremains a problem.rnPermeation tubes have proven to be an effective method for creating trace moisture standardsrninert process gases such as nitrogen. This paper describes the adaptation of the permeation tubernmethod to the preparation of trace moisture standards in reactive matrices.
机译：测量反应性气体中痕量水蒸气的浓度是半导体工业中重要的产品质量保证。在化学工业中，对于过程控制和防止腐蚀也很重要。已经开发出了许多用于测量氨（NH3），氯化氢（HCl），氯（Cl2）和其他反应性气体中痕量水分的技术，但是生产用于系统校准和数据验证的标准仍然是一个问题。渗透管被证明是有效的用于创建微量水分标准的方法，用于惰性化工艺气体（例如氮气）。本文介绍了渗透管法对反应性基质中痕量水分标准品的制备的适应性。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号