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【24h】

Optimization of Maximum VO_2 Content in Polymorphous Oxides of Vanadium

机译:钒多晶氧化物中最大VO_2含量的优化

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摘要

Optical properties of thin films of vanadium thermally oxidized at air were studied by ellipsometric method using wavelength of He-Ne laser. Multipart composition of these films was revealed and method of optimization of technological conditions based on dynamic of changing optical constants near 68℃ was developed.
机译:利用He-Ne激光的波长,通过椭偏法研究了在空气中热氧化的钒薄膜的光学性质。揭示了这些薄膜的多部分组成,并基于68℃附近的光学常数变化的动力学,开发了优化工艺条件的方法。

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