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Optical design and analysis of a noncontact profiler using diffractive optical elements (DOE)

机译:使用衍射光学元件(DOE)的非接触轮廓仪的光学设计和分析

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摘要

In this work we present an alternative to design a noncontact profiler using diffractive optical elements in substitution of the traditional optical elements (refractive, reflective). With these elements we have lenses with large numerical aperture and high control of the spherical aberration that is most important in the case of the profilers. In this work, the optical design of a profiler is presented that will be used in a large coordinate measuring machine. The optical design allows to this profiler scan the surface in a continuous way. We also present the algorithms for recovering the form of the surface starting from the date obtained with the profiler.
机译:在这项工作中,我们提出了一种替代方案,以设计一种使用衍射光学元件代替传统光学元件(折射,反射)的非接触轮廓仪。有了这些元件,我们便获得了具有大数值孔径和高度控制球面像差的透镜,这在轮廓仪的情况下最为重要。在这项工作中,介绍了轮廓仪的光学设计,该轮廓仪将用于大型坐标测量机中。光学设计允许该轮廓仪以连续方式扫描表面。我们还提出了从轮廓仪获得的日期开始恢复表面形状的算法。

著录项

  • 来源
    《RIAO/OPTILAS 2004》|2004年|P.778-783|共6页
  • 会议地点 Porlamar (VE)
  • 作者单位

    National Institute of Astrophysics, Optics Electronics Apdo. Postal 51 y 216, 72000 Puebla, Pue. Mexico;

  • 会议组织
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 应用光学;
  • 关键词

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