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【24h】

Holographic litography for electroforming submicrometric structures

机译:用于电铸亚微米结构的全息照相术

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摘要

In this paper we proposed and demonstrated the association of holographic lithography with electroforming to produce submicrometric metallic structures. To demonstrate the potential of the technique, different types of submicrometric metallic structures were generated: periodic lines, nano-tunnels and arrays of holes. Such structures can met different applications from optics to micromechanical systems.
机译:在本文中,我们提出并证明了全息光刻技术与电铸技术之间的联系,以产生亚微米级的金属结构。为了证明该技术的潜力,产生了不同类型的亚微米级金属结构:周期线,纳米隧道和孔阵列。这样的结构可以满足从光学到微机械系统的不同应用。

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