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首页> 外文会议>Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems; 20040524-26; Saint Petersburg(RU) >11th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems 24 - 26 May 2004
【24h】

11th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems 24 - 26 May 2004

机译：第十一届圣彼得堡国际组合导航系统会议2004年5月24日至26日

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The vacuum packaged differential resonant accelerometer (DRXL) using gap sensitive electrostatic stiffness change effect is designed, fabricated and tested by using the reverse surface micromachining(RSM) process based on single crystalline silicon. It says that increasing electrostatic force on the proof mass of the accelerometer can reduce the natural frequency of the accelerometer. To fabricate the proposed accelerometers, < 111 > single crystalline silicon was chosen for the accelerometer structure material because it has more excellent mechanical properties than the polysilicon. Two different type accelerometers for 3-DOF detections are fabricated with same process. The fabricated resonant accelerometers show 70 Hz/G of sensitivity, 2.5 uG of resolution at nominal frequency of 12.3 kHz for z-axis accelerometer(vertical accelerometer) and 128 Hz/G of sensitivity, 5.2 uG of resolution at nominal frequency of 24.9 kHz for x-axis accelerometer(lateral accelerometer).
机译：利用基于单晶硅的反面微加工（RSM）工艺，设计，制造和测试了具有间隙敏感性静电刚度变化效应的真空封装差分共振加速度计（DRXL）。它说，在加速度计的检测质量上增加静电力会降低加速度计的固有频率。为了制造建议的加速度计，选择<111>的单晶硅作为加速度计的结构材料，因为它比多晶硅具有更好的机械性能。两种用于3-DOF检测的不同类型的加速度计是通过相同的过程制造的。所制造的谐振加速度计的灵敏度为70 Hz / G，z轴加速度计（垂直加速度计）在标称频率为12.3 kHz时分辨率为2.5 uG，灵敏度为128 Hz / G，在24.9 kHz的标称频率下为5.2 uG。 x轴加速度计（横向加速度计）。

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