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PREPARATION OF BORON-DOPED DIAMOND THIN FILMS USING BF_3 AND THE ELECTROCHEMICAL BEHAVIOR OF THE SEMICONDUCTING DIAMOND ELECTRODES

机译:利用BF_3制备掺硼金刚石薄膜及半导电金刚石电极的电化学行为

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摘要

Boron-doped diamond thin films were prepared using BF_3 by microwave plasma assisted chemical vapor deposition, and the electrochemical behavior of the semiconducting diamond electrodes was investigated.
机译:利用微波等离子体辅助化学气相沉积法,通过BF_3制备了掺硼金刚石薄膜,研究了半导体金刚石电极的电化学行为。

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