机译:PECVD对乙炔和乙烯源气对DLC超薄膜的表征和微腐蚀
机译:太阳能电池用非晶态氢化碳氮合金薄膜
机译:氩气稀释的乙炔前体对通过改进的脉冲直流PECVD方法沉积的a-C:H薄膜的微观结构以及机械和摩擦学性能的影响
机译:通过PECVD使用乙炔和氮作为前体气体获得的氢化碳 - 氮膜
机译:PECVD氢化非晶硅膜和HWCVD氢化非晶硅膜的质子NMR研究。
机译:氮气掺入对VHF PECVD沉积的富含Si的A-SiCx薄膜光学性质的影响
机译:前驱气体对等离子体沉积非晶氢化碳氮薄膜结构的影响