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Real Time Optical Method of Stress Measurements in Thin Films

机译:薄膜中应力测量的实时光学方法

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摘要

Techniques generally used to measure stress in thin films cannot give sufficient information to be correlate to film properties. An in situ stress measurement method is described in this paper. This optical technique, based on the cantilever one, allows to follow up the evolution of intrinsic stress with film thickness. It provides complementary information which can be correlate with film microstructure. Moreover, after deposition, this technique determines the Young's modulus and thermal expansion coefficient of the film by measuring the thermal stress during cooling.
机译:通常用于测量薄膜应力的技术无法提供足够的信息来与薄膜性能相关。本文介绍了一种现场应力测量方法。这种光学技术基于悬臂梁技术,可以跟踪固有应力随膜厚的变化。它提供了可以与薄膜微结构相关的补充信息。而且,在沉积之后,该技术通过测量冷却期间的热应力来确定膜的杨氏模量和热膨胀系数。

著录项

  • 来源
  • 会议地点 Regensburg(DE);Regensburg(DE)
  • 作者单位

    Laboratoire de Physique et Technologies du Vide, I.U.T. de St-Etienne, 28 Avenue Leon Jouhaux, F-42023 St-Etienne Cedex 2, France;

    Laboratoire de Physique et Technologies du Vide, I.U.T. de St-Etienne, 28 Avenue Leon Jouhaux, F-42023 St-Etienne Cedex 2, France;

    Laboratoire de Physique et Technologies du Vide, I.U.T. de St-Etienne, 28 Avenue Leon Jouhaux, F-42023 St-Etienne Cedex 2, France;

    Laboratoire de Physique et Technologies du Vide, I.U.T. de St-Etienne, 28 Avenue Leon Jouhaux, F-42023 St-Etienne Cedex 2, France;

  • 会议组织
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 薄膜物理学;
  • 关键词

    stress; intrinsic stress; cantilever; image processing;

    机译:强调;内在压力悬臂;图像处理;

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