磁控溅射非晶态TiO-Ag（Mo）薄膜的光催化性能研究

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声明

1绪论

1.1国内外研究历程及现状

1.2纳米TiO2相关基础理论

1.2.1 TiO2的晶体结构及基本特性

1.2.2纳米TiO2光催化反应原理

1.2.3 TiO2光催化效率的影响因素

1.2.4 TiO2光催化剂的改性方法

1.3常用的薄膜制备工艺

1.3.1溅射沉积

1.3.2化学气相沉积

1.3.3液相沉积法[25]

1.3.4溶胶-凝胶法

1.4 TiO2光催化薄膜的应用

1.4.1在环境卫生方面的应用

1.4.2在建材方面的应用

1.5目前存在的问题

1.6本课题研究的目的及意义

2溅射镀膜原理

2.1溅射机理及特点

2.2基本溅射类型

2.2.1直流溅射

2.2.2射频溅射

2.2.3反应溅射

2.2.4磁控溅射

3实验

3.1实验设备及材料

3.2薄膜的制备

3.3薄膜的性能测试

4 TiO2-Ag薄膜的光催化性能和结构研究

4.1工艺参数对TiO2-Ag薄膜光催化性能的影响

4.1.1 Ag掺杂方式对TiO2-Ag薄膜光催化性能的影响

4.1.2 Ag的掺杂量对TiO2-Ag薄膜光催化性能的影响

4.1.3氧流量对TiO2-Ag薄膜光催化性能的影响

4.1.4其它工艺参数的影响

4.2薄膜厚度对指示剂光催化性能的影响

4.3光照时间对指示剂光催化效率的影响

4.4 TiO2-Ag薄膜的结构分析

4.4.1 TiO2-Ag薄膜的XRD分析

4.4.2 TiO2-Ag薄膜的表面成分分析

4.4.3 TiO2-Ag薄膜的表面形貌分析

4.4.4 TiO2-Ag薄膜的电子结构分析

4.5 TiO2-Ag薄膜的光催化效果分析

4.6本章小节

5 TiO2-Mo薄膜的制备及分析

5.1工艺参数对TiO2-Mo薄膜的光催化性能分析

5.1.1 TiO2-Mo薄膜的正交实验

5.1.2 Mo的掺杂量对TiO2-Mo薄膜光催化性能的影响

5.1.3氧流量对TiO2-Mo薄膜光催化性能的影响

5.1.4 Mo的掺杂方式对TiO2-Mo薄膜光催化性能的影响

5.1.5直流偏压对TiO2-Mo薄膜光催化性能的影响

5.2 TiO2-Mo薄膜的XRD分析

5.3 TiO2-Mo薄膜的透过率分析

5.4 TiO2-Mo薄膜的光催化效果分析

5.5本章小结

6结论

7后续工作

致谢

参考文献

附录