摘要
CONTENTS
第一章 绪论
1.1 课题背景
1.1.1 真空静电喷涂相关设备
1.1.2 管道系统介绍
1.2 课题研究的意义
1.3 课题来源
1.4 本文主要研究内容
第二章 管道系统分析与工具应用
2.1 管道系统的特性与设计要求
2.2 管道系统的模块化组合与基本构架
2.3 应用技术与工具介绍
2.4 本章小结
第三章 入气系统的研究与设计
3.1 系统组成及部件设计
3.2 入气系统管道参数计算
3.3 入气系统结构设计
3.4 结构FEA分析校核
3.5 系统CFD优化分析
3.6 本章小结
第四章 抽气系统的研究与设计
4.1 前代抽气系统出现的问题
4.2 系统整体结构设计
4.3 系统重要参数计算
4.4 子系统重要组件选择
4.5 抽真空、过滤系统分析优化
4.5.1 结构FEA优化分析
4.5.2 系统CFD优化分析
4.6 真空补充系统设计与结构优化分析
4.7 除尘系统的结构设计与分析
4.8 冷却器分析
4.9 本章小结
第五章 整体系统控制
5.1 控制系统SIMENS PLC及MCGS触摸屏介绍
5.2 控制系统构架
5.3 基于触摸屏及PLC的管道控制系统
5.3.1 PLC编程
5.3.2 触摸屏界面设计
5.4 基于Matlab与PLC的数据通信与测控应用
5.5 本章小结
第六章 系统综合应用状况
6.1 工艺参数选用
6.1.1 数据采集设备
6.1.2 数据整合试验方法
6.2 系统运行参数优化组合
6.3 本章小结
总结与展望
一 系统总结
二 工作展望
参考文献
攻读学位期间发表的论文
声明
致谢
附录1
附录2