电子辐照对大直径SI-GaAs单晶性能影响的研究

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目录

第一章 绪论

1.1 前言

1.2 GaAs单晶的材料特性

1.3 GaAs单晶结构的不完整性

1.4 原生SI-GaAs单晶的电学性能

1.5 SI-GaAs单晶的两种主要生长技术

1.6 电子辐照的GaAs单晶

1.7 本文的主要研究内容

第二章 样品制备与分析技术

2.1 样品制备

2.2 缺陷腐蚀

2.3分析技术

第三章 SI-GaAs单晶中的缺陷及形成机理

3.1 引言

3.2 实验过程

3.3实验结果与分析

3.4 本章小结

第四章 电子辐照SI-GaAs单晶拉曼谱的研究

4.1 引言

4.2 实验过程

4.3 实验结果与分析

4.4 本章小结

第五章 电子辐照对SI-GaAs单晶电学性能的影响

5.1 引言

5.2 实验过程

5.3 实验结果与分析

5.4 本章小结

第六章 结论

参考文献

攻读学位期间所取得的相关科研成果

致谢