DLC膜在不同金属基材上的摩擦特性及其沉积系统的设计

声明

摘要

1 绪论

1．1 镀膜的几种方法

1．1．1 化学方法制备薄膜

1．1．2 物理方法制备薄膜

1．2 不同构成的超高真空系统

1．2．1 用钛泵或溅射离子泵作为主泵

1．2．2 钛泵超高真空系统(扩散泵系统)

1．2．3 扩散泵系统

1．3 DLC(Diamond-Like Carbon)薄膜材料

1．3．1 非晶碳基薄膜材料

1．3．2 DLC薄膜的性能

1．3．3 DLC膜的应用

1．4 DLC薄膜的摩擦学研究现状

1．5 论文的选题依据及研究内容

2 DLC薄膜沉积设备设计部分

2．1 DLC镀膜设备的设计原则与选型要求

2．1．1 DLC镀膜设备的设计原则

2．1．2 DLC镀膜设备的选型要求

2．1．3 DLC镀膜设备的设计思路

2．2 DLC镀膜室的设计

2．2．1 DLC镀膜设备对抽气系统的要求

2．2．2 DLC镀膜室的设计

2．3 DLC镀膜设备的设计

2．3．1 真空系统的设计要求

2．3．2 DLC镀膜设备内的总放气量

2．3．3 主泵的选择

2．3．4 前级泵的抽速计算

2．3．5 钛泵的选择

2．3．6 抽气时间的计算

2．4 DLC镀膜设备的安装布局

2．4．1 设备的总体布局

2．4．2 抽气管路流程

2．4．3 安装位置

2．5 RF-DC双电源CVD镀膜设备

2．6 结论

3 DLC薄膜沉积在不同金属上的摩擦特性

3．1 DLC薄膜沉积过程及生长机理

3．1．1 等离子体概述

3．1．2 等离子体增强化学气相沉积

3．1．3 薄膜的形成与生长

3．1．4 连续薄膜的形成

3．2 实验方法

3．3 结果与讨论

3．3．1 DLC薄膜与金属基材的结合状态研究

3．3．2 在Ti基材上沉积a-Si:H-DLC复合薄膜的摩擦特性评价

3．3．3 在Ti-6Al-4V基材上沉积a-Si:H-DLC复合薄膜的摩擦特性评价

3．3．4 在S45C基材上沉积a-Si:H-DLC复合薄膜的摩擦特性评价

3．3．5 载荷对a-Si:H-DLC复合薄膜的破坏寿命的影响

3．4 结论

4 结束语

4．1 本论文的主要内容及结论

4．2 DLC薄膜研究中存在的问题及发展趋势

参考文献

附录A

附录B

附录C

作者简历及在学期间研究成果与发表的学术论文

致谢