1绪论
1.1引言
1.2纳米硅薄膜在生物领域的应用
1.3纳米硅薄膜超快动力学研究意义及方法
1.4半导体超快动力学研究进展
1.5本文研究内容
2铝掺杂纳米硅薄膜的制备
2.1纳米薄膜的常用制备方法
2.2磁控溅射法制备铝掺杂纳米硅薄膜
2.3磁控溅射法制备薄膜的影响因素
2.4铝掺杂纳米硅薄膜的制备及退火处理
2.5本章小结
3飞秒激光泵浦-探测瞬态反射率变化规律
3.1实验组成部分及光路系统的设计调试
3.2飞秒激光作用下的瞬态反射率变化研究
3.3本章小结
4单晶硅表面载流子的超快动力学过程分析
4.1半导体的超快动力学过程分析
4.2单晶硅表面载流子的超快动力学过程
4.3不同泵浦光能量作用下载流子超快动力学变化规律分析
4.4本章小结
5铝掺杂纳米硅薄膜表面载流子的超快动力学分析
5.1半导体硅薄膜掺杂
5.2本征半导体掺杂的意义
5.3铝掺杂对超快动力学过程的影响
5.4铝掺杂纳米硅薄膜与单晶硅表面载流子超快动力学对比分析
5.5本章小结
结论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
致谢
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