近场光学显微镜探针-样品间距控制技术研究
STUDY OF TIP-SAMPLE DISTENCE CONTROL IN SCANNING NEAR-FIELD OPTICAL MICROSCOPE
摘要
Abstract
第1章 绪论
1.1 课题背景及意义
1.2 近场光学显微镜及其关键技术的发展
1.3 国内外研究现状及应用前景
1.4 课题的主要研究内容
第2章 近场光学显微镜原理
2.1 远场与近场
2.2 近场探测理论
2.3 偏光近场光学显微镜测量原理
2.4 本章小结
第3章 近场光学显微镜系统结构介绍
3.1 系统组成
3.2 SNOM各组成模块介绍及相关实验
3.3 SNOM系统调试过程
3.4 本章小结
第4章 探针-样品间距控制技术研究
4.1 剪切力测控样品-探针间距方法简介
4.2 实验验证
4.3 实验结果分析及方案确认
4.4 本章小结
第5章 扫描方法设计
5.1 扫描方法介绍
5.2 所用仪器及主要命令介绍
5.3 计算机串口扩展电路设计
5.4 扫描控制程序设计流程及具体参数设计
5.5 本章小结
结论
参考文献
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致谢
哈尔滨工业大学;
