激光刻蚀CIGS薄膜太阳能电池P3划线工艺研究

封面

声明

中文摘要

英文摘要

目录

1 绪论

1.1 铜铟镓硒薄膜太阳能电池的产生与发展

1.2 激光刻蚀CIGS薄膜材料的研究进展

1.3 CIGS薄膜电池的结构和制作工艺

1.4 论文的研究内容

2半导体材料激光刻蚀机制

2.1 物质对激光的吸收机理

2.2 半导体材料对激光吸收机制

2.3 红外波段激光的吸收机制

2.4 本章小结

3 激光加工系统

3.1激光加工原理

3.2 激光加工技术分类

3.2 激光刻蚀加工设备

3.3 本章小结

4 影响激光划线的工艺参数

4.1 材料特性

4.2 激光特性参数的影响

4.3 加工参数的设置

4.4激光加工过程中各项参数关系

4.5 本章小结

5 激光刻蚀工艺实验结果及分析

5.1 CIGS薄膜太阳能电池

5.2 实验参数初步设置

5.3 烧蚀阈值Fth

5.4 P3刻线实验结果分析

5.5本章小结

6 总结与展望

致谢

参考文献