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目录
第1章 绪论
1.1半导体锗的光学特性及其在外场作用下的变化
1.2研究现状与目的
第2章 密度泛函理论
2.1 Born-Oppenheimer近似和Hartree-Fock近似
2.2 Hohenberg-Kohn理论
2.3 Kohn-Sham方程
2.4交换关联泛函
2.5赝势
2.6自洽求解
第3章 锗光学性质的分析计算与结果
3.1 CASTEP中所采用的一些方法
3.2锗计算过程与参数设置
3.3折射率-压力理论模型的建立
3.4小结
第4章 锗薄膜的制备与厚度测量
4.1锗折射率的测量原理
4.2锗膜厚度对反射率的影响
4.3锗膜的制备
4.4锗膜厚度测量
4.5小结
第5章 吸收区压力场中锗折射率的实验测量
5.1测试系统结构
5.2压力传感模型与实验结果
5.3实验结果讨论
第6章 总结与后续工作
致谢
参考文献
攻读硕士期间发表论文