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声明
第1章绪 论
1.1概述
1.2国内外发展状况
1.3本论文的研究内容和安排
第2章MEMS机油压力传感器设计
2.1 MEMS压力传感器的基本原理
2.2 MEMS机油压力传感器封装结构设计
2.2.1微电子封装概述
2.2.2 MEMS机油压力传感器封装结构
2.3本章小节
第3章MEMS压力传感器关键制造工艺研究
3.1碰焊工艺研究
3.2充灌硅油工艺研究
3.3压力传感器信号调理技术研究
3.4本章小节
第4章MEMS机油压力传感器封装结构测试
4.1贴片胶剪切强度的测试
4.2键合金丝强度测试
4.3封装结构的气密性检测
4.4本章小节
第5章MEMS压力传感器批量标定、测试技术
5.1批量测试夹具设计
5.2MEMS机油压力传感器批量测试技术
5.2.1 MEMS压力传感器终测设备
5.2.2 MEMS压力传感器温场测试设备
5.2.3油压敏感头数据采集设备
5.2.4本章小结
总 结
致谢
参考文献
参与的项目、发表的论文和申请的专利