空间太阳电池玻璃盖板表面ITO/MgF2复合增透防静电薄膜研究

声明

第1章 绪 论

1.1空间太阳电池玻璃盖板及表面处理

1.2 MgF2薄膜研究现状

1.3 ITO薄膜研究现状

1.4 MgF2薄膜和ITO薄膜的制备方法

1.5 MgF2薄膜和ITO薄膜性能改善方法

1.6 ITO/MgF2复合薄膜的应用及研究现状

1.7 研究背景及主要内容

第2章 实验方法

2.1光学薄膜设计与模拟软件

2.2薄膜衬底及其预处理

2.3薄膜的制备装置及工艺

2.4离子束轰击装置及工艺

2.5薄膜的组织结构表征方法

2.6薄膜的性能测试方法

第3章 ITO/MgF2复合薄膜光学设计

3.1 引言

3.2 不同厚度单层MgF2薄膜透过率模拟

3.3 ITO/MgF2复合薄膜中ITO薄膜膜厚设计

3.4 ITO/MgF2复合薄膜中MgF2薄膜膜厚设计

3.5 小结

第4章 直接沉积法制备ITO/MgF2复合薄膜

4.1 引言

4.2 ITO防静电层工艺参数调控

4.3 MgF2增透层工艺参数调控

4.4小结

第5章 离子束斜角轰击减薄法制备ITO/MgF2复合薄膜

5.1引言

5.2 氩离子屏压对ITO薄膜结构、表面形貌及光电性能的影响

5.3氩离子束流对ITO薄膜结构、表面形貌及光电性能的影响

5.4 氩离子束斜角轰击减薄法制备ITO/MgF2复合薄膜

5.5 小结

结论

参考文献

附录A 读研期间发表学术论文和参与科研项目

致谢