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第一章绪论
1.1引言
1.2本文题目来源及研究意义
1.2.1题目来源
1.2.2研究的意义
1.3国内外精密工作台及磁悬浮技术研究进展
1.3.1国外技术现状
1.3.2国内技术现状
1.4现代设计方法及CAD/CAE技术应用
1.5本文的研究内容和研究方法
1.5.1主要研究内容
1.5.2研究方法
1.6本章小结
第二章磁悬浮技术和直线电机驱动原理及磁悬浮工作台概念设计
2.1引言
2.2磁悬浮技术
第三章磁悬浮精密定位工作台CAD/CAE技术路线
3.1引言
3.2CAD/CAE技术与虚拟样机技术
3.2.1三维屏幕样机设计的CAD软件及应用
3.2.2虚拟样机技术
3.2.3 CAE工程分析,综合设计评价
3.3技术路线
3.3.1虚拟样机设计
3.3.2磁悬浮工作台的电磁场分析
3.3.3磁悬浮工作台结构的有限元力学分析
3.3.4有限元分析与试验相结合
3.4本章小结
第四章磁悬浮精密工作台系统的虚拟样机及原理样机CAD设计
4.1引言
4.2磁悬浮精密工作台系统设计方案
4.3工件台虚拟样机设计
4.4磁悬浮工作台原理样机CAD结构设计
4.5本章小结
第五章磁悬浮精密定位工作台的电磁场分析及仿真
5.1引言
5.2不计漏磁的简单磁路、磁力计算
5.2.1简单磁路设计
5.2.2磁力计算
5.3电磁场有限元分析方法
5.4磁悬浮系统2D电磁场有限元分析实例
5.5原理样机磁悬浮系统3D电磁场分析
5.6永磁式直线直流电动机电磁场分析
5.6.1开磁路动铁型直线直流电动机的推力计算
5.6.2有效磁通密度BE的计算
5.6.3铁心中磁通密度的计算
5.7本章小结
第六章磁悬浮工作台结构的有限元力学分析
6.1引言
6.2有限元力学模型的建立
6.2.1建模原则和模型构造
6.2.2有限元模型参数
6.2.3约束条件
6.3磁悬浮工作台结构静力学分析
6.4磁悬浮工作台结构动力学分析
6.4.1模态分析
6.4.2有限元计算结果
6.5本章小结
第七章磁悬浮工作台原理样机试验
7.1引言
7.2原理样机的磁悬浮直线驱动定位试验
7.2.1原理样机的机电系统组成及安装联接
7.2.2非悬浮状态下平台的直线定位试验
7.2.3磁悬浮控制及平台悬浮状态下的直线定位试验
7.3原理样机模态试验
7.3.1模态试验目的和方法
7.3.2试验系统的组成及测试过程
7.3.3试验实施前的准备
7.3.4模态测试及结果分析
7.4有限元分析结果与试验结果比较
7.5改进结构设计方案
7.6本章小结
第八章结论与展望
8.1研究成果和结论
8.2本文的创新点
8.3进一步研究的展望
参考文献
博士期间发表的论文、申请的专利与基金课题
致 谢
作者简历
长春光学精密机械与物理研究所博士学位论文原创性声明