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用于紫外集成生物芯片的微流通道的结构设计

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摘要

第一章 绪论

1.1 引言

1.2 微流控芯片发展概述

1.3 微流控芯片的材料

1.4 高分子聚合物微流控芯片制备工艺的研究现状

1.5 本论文的目的、意义及研究内容

第二章 PDMS基片的成型工艺研究

2.1 PDMS的结构和基本性能

2.2 PDMS的固化参数考察

2.3 PDMS微流通道图形的设计

2.4 PDMS微流通道成型工艺

第三章 PDMS表面润湿性理论以及表面改性研究

3.1 表面润湿性理论

3.2 氧等离子体处理

3.3 PDMS表面紫外改性处理

第四章 PDMS微流芯片键合封装工艺研究

4.1 不同配比的PDMS之间黏接强度的考察

4.2 PDMS微流通道的键合

4.3 键合强度的测量及表征

4.4 键合机理

总结

致谢

参考文献

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摘要

简单介绍了使用紫外集成生物芯片进行对生物战剂进行探测的原理。本文设计并制作了一种PDMS微流通道,可以在紫外集成生物芯片中作为试样的流动通道。
  本文以PDMS硅橡胶作为材料,使用再铸模法进行了微流通道基片的制作。工艺过程包括设计PDMS微流通道的结构,制作光刻掩膜版,利用光刻以及刻蚀工艺制作出硅阴模,使用基质/固化剂配比为10∶1的PDMS材料通过两次模塑成型过程制作了PDMS基片。研究了PDMS聚合物配比对粘结强度的影响以及表面改性处理技术后,决定使用基质/固化剂配比为5∶1的PDMS材料制作出盖片,与基片一同在汞灯下照射3.5h以完成紫外光照表面改性后进行不可逆键合,完成了PDMS微流通道的制作并讨论了键合机理。

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