声明
摘要
第一章 绪论
1．2 PSD发展历史与应用研究现状
1．3 PSD非线性校正发展趋势
1．3 课题研究目的和意义
1．4 课题的主要研究内容
第二章 系统整体方案设计
2．1 光斑坐标处理模块
2．2 PSD数据处理与采集模块
2．3 微位移平台通信及控制模块
第三章 系统硬件构成
3．1 位置敏感探测器(PSD)
3．2 PSD外围处理电路
3．3 系统光源的选取
3．4 微位移平台
3．5 实验台架结构设计
第四章 系统软件及算法设计
4．1 基于LabVIEW的系统软件设计
4．2 PSD线性化算法设计
第五章 实验与结果分析
5．1 消除背景光和暗电流的方法
5．2 实验
5．3 网络训练及误差分析
5．4 MATLAB与LabVIEW混合编程
第六章 总结与展望
6．1 论文工作总结
6．2 工作展望
致谢
参考文献
附录一 PSD数据采集及线性化实验数据
附录二 攻读硕士学位期间发表的学术论文
