声明
第一章 绪 论
1.1 TiN薄膜概述
1.1.1 TiN薄膜的结构与特性
1.1.2 TiN薄膜研究进展的简介
1.2 金属/TiN薄膜和金属掺杂TiN薄膜的概述
1.2.1 金属/TiN薄膜和金属掺杂TiN薄膜的结构
1.2.2 金属/TiN薄膜和金属掺杂TiN薄膜的研究现状
1.3 TiN薄膜的制备与表征方法
1.3.1 制备方法
1.3.2 X射线衍射(XRD)
1.3.3 扫描电子显微镜 (SEM)
1.3.4 Raman光谱（Raman spectrum）测试
1.3.5 相关薄膜的机械性能测试
1.3.6 相关薄膜的光学特性测试
1.4 研究意义与主要研究内容
第二章 TiN薄膜的制备及其特性
2.1 TiN薄膜的制备及其结构
2.1.1 衬底温度对TiN薄膜制备及其结构的影响
2.1.2 溅射电流对TiN薄膜制备及其结构的影响
2.1.3 氩氮比率对TiN薄膜制备及其结构的影响
2.1.4 溅射压强对TiN薄膜制备及其结构的影响
2.1.5 溅射时间对TiN薄膜制备及其结构的影响
2.2 TiN薄膜的Raman光谱和表面形貌
2.2.1 TiN薄膜的Raman光谱分析
2.2.2 TiN薄膜的表面形貌分析
2.3 TiN薄膜的机械性能与光学特性
2.3.1 TiN薄膜的机械性能
2.3.2 TiN薄膜的光学特性
第三章 金属/TiN薄膜的制备及其特性
3.1 不同金属缓冲层的制备
3.2 金属/TiN薄膜的制备
3.3 Al/TiN薄膜的特性
3.3.1 Al/TiN薄膜的XRD和Raman光谱分析
3.3.2 Al/TiN薄膜的表面形貌分析
3.3.3 Al/TiN薄膜的机械性能
3.3.4 Al/TiN薄膜的光学特性
3.4 Ti/TiN薄膜的特性
3.4.1 Ti/TiN薄膜的XRD和Raman光谱分析
3.4.2 Ti/TiN薄膜的表面形貌分析
3.4.3 Ti/TiN薄膜的机械性能
3.4.4 Ti/TiN薄膜的光学特性
3.5 Zn/TiN薄膜的特性
3.5.1 Zn/TiN薄膜的XRD和Raman光谱分析
3.5.2 Zn /TiN薄膜的表面形貌分析
3.5.3 Zn/TiN薄膜的机械性能
3.5.4 Zn/TiN薄膜的光学特性
第四章 Al掺杂TiN薄膜的制备及其特性
4.1 制备Al掺杂TiN薄膜的过程
4.2 Al掺杂TiN薄膜的特性
4.2.1 Al掺杂TiN薄膜的XRD和Raman光谱分析
4.2.2 Al掺杂TiN薄膜的表面形貌分析
4.2.3 Al掺杂TiN薄膜的光学特性
第五章 结论
参考文献
致谢
附录A:攻读硕士期间发表的文章
