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横向脉冲放电XeCl准分子激光器工作特性的研究

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第一章绪论

§1.1准分子及准分子激光器机理

§1.2准分子激光器的历史回顾

§1.3准分子激光器的优点

§1.4准分子激光器的泵浦方式

§1.5准分子激光的种类

§1.6准分子激光器的研究现状

§1.7准分子激光器的应用

§1.8论文的选题及所作工作

第二章快放电泵浦准分子激光器的关键技术

§2.1激励电路

§2.2电极

§2.3快速开关技术

§2.4预电离技术

§2.5其他相关技术

第三章准分子激光器放电特性和光脉冲实验

§3.1 XeCl准分子激光系统

§3.2实验方法和设备

§3.3实验结果

§3.4结果分析

第四章准分子激光器的理论计算

§4.1放电方程的数值解

§4.2放电泵浦XeCl*激光的动力学模型

§4.3实验数据和模拟结果的比较和分析

第五章总结

致谢

参考文献

附录放电泵浦XeCl激光的动力学过程

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摘要

准分子激光器是一种基于准分子特性的脉冲式气体激光器.二十多年来准分子激光器技术得到了飞速的发展,准分子激光器在越来越多的领域得到广泛应用,并发挥了重要或不可替代的作用.该论文的主要工作研究是放电泵浦横向激励XeCl准分子激光器在一个大气压下的放电特性和光脉冲特性,并建立该实验条件下的XeCl准分子激光器的动力学模型.通过对实验结果和模拟结果的分析,比较实验和模拟的差异,验证所建模型的正确性,并由该模型得出更多的相关结论.该文的第一章介绍了准分子和准分子激光器的定义和工作机理,回顾了准分子激光器的发展历程和背景,并描述了目前的发展状况和当前准分子激光器的应用.第二章阐述放电泵浦准分子激光器中,对激光器性能影响比较大的一些关键技术.第三章主要介绍实验中所研究的激光器的设计、实验内容和所得结果以及对所得结果的分析和讨论.第四章主要是对基于该实验条件的激励电路的数值计算和动力学模型的建立和计算,并与第三章的实验结果进行比较,讨论了理论模型的正确性和由理论模型得到的相关结论.

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