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摘要
第一章 绪论
1.1 微/纳陷光结构的研究进展
1.2 陷光结构减反射原理、分类及其在光伏电池中的应用
1.2.1 沟槽、金字塔或倒金字塔陷光结构
1.2.2 周期性亚波长光栅陷光结构
1.2.3 金属纳米颗粒阵列陷光结构
1.2.4 微米、纳米孔阵列陷光结构
1.2.5 硅纳米线、纳米柱或纳米锥阵列陷光结构
1.3 微/纳陷光结构的制备方法
1.3.1 光刻技术
1.3.2 刻蚀技术
1.3.3 纳米压印技术
1.3.4 “探针”技术
1.3.5 自组装技术
1.4 本课题研究的主要内容
第二章 纳米线和纳米孔陷光结构的制备及表征
2.1 实验方法概述
2.2 实验原理
2.3 实验所需设备和材料
2.3.1 实验材料和试剂
2.3.2 主要实验设备
2.4 纳米陷光结构的制备与表征
2.4.1 纳米陷光结构的制备
2.4.2 纳米陷光结构的表征
2.5 结果与讨论
2.5.1 石墨纳米颗粒浓度对陷光结构表面形貌的影响
2.5.2 刻蚀溶液中H2O2浓度对陷光结构表面形貌的影响
2.5.3 GNPs浓度和H2O2浓度对陷光结构表面减反射性能的影响
2.6 本章小结
第三章 方形硅纳米孔和硅纳米线阵列的制备及其影响因素研究
3.1 引言
3.2 实验所需材料与设备
3.2.1 实验材料和试剂
3.2.2 主要实验设备
3.3 方形硅纳米孔阵列的制备及其减反射性能的研究
3.3.1 实验方法与流程
3.3.2 结果与讨论
3.4 硅纳米线阵列的制备及其减反射性能的影响因素研究
3.4.1 实验方法与流程
3.4.2 结果与讨论
3.5 本章小结
第四章 硅纳米线太阳电池的制备研究
4.1 硅纳米线太阳电池概述
4.1.1 径向p-n(p-i-n)结SiNWs太阳电池
4.1.2 轴向p-n(p-i-n)结硅纳米线太阳电池
4.1.3 基体p-n结SiNWs太阳电池
4.2 硅纳米线太阳电池的制备
4.2.1 实验材料和试剂
4.2.2 主要实验设备
4.2.3 实验方法及流程
4.2.4 硅纳米线的后处理
4.2.5 SiNWs太阳能电池的制备
4.3 结果与讨论
4.3.1 SiNWs对太阳电池性能的影响
4.3.2 硅纳米线的前处理工艺对SiNWs太阳电池性能的影响
4.3.3 AZO载流子收集层和栅形电极对SiNWs太阳电池性能的影响
4.4 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 进一步研究建议
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及专利