声明
注释表
第一章 绪论
1.1引言
1.2基于非共振型压电作动器的精密定位平台概述
1.3基于非共振型压电作动器的多自由度精密定位平台的研究现状
1.4本研究的意义、目标及主要内容
第二章 非共振型压电直线作动器的建模与优化
2.1引言
2.2压电叠堆
2.3杠杆放大式压电直线作动器设计
2.4杠杆放大式压电直线作动器动力学建模
2.5有限元仿真
2.6杠杆放大式压电直线作动器振幅测试
2.7压电作动器结构的优化设计
2.8本章小结
第三章 精密定位直线平台的实验研究
3.1引言
3.2精密定位直线平台
3.3双压电作动器对称驱动方式
3.4双压电作动器同向驱动方式
3.5本章小结
第四章 精密定位旋转平台的设计与实验
4.1引言
4.2精密定位旋转平台的设计
4.3精密定位旋转平台的动力学建模
4.4精密定位旋转平台实验
4.5本章小结
第五章 串联式三自由度精密定位平台及其驱动方案
5.1引言
5.2串联式三自由度精密定位平台结构
5.3基座设计
5.4位移输出平台设计
5.5驱动方案设计
5.6本章小结
第六章 总结与展望
6.1本文主要贡献
6.2本文创新点
6.3进一步工作展望
参考文献
致谢
在学期间的研究成果及发表的学术论文