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声明
1绪论
1.1引言
1.2.ZnO的结构和光电特性
1.2.1 ZnO的结构特性
1.2.2 ZnO的光电特性
1.3 ZnO在光电器件的应用及前景
1.4 ZnO薄膜光学特性的研究现状
1.5本论文的主要研究内容
2 ZnO薄膜的生长技术与表征
2.1 ZnO薄膜的主要制备技术
2.1.1溅射法(Sputtering)
2.1.2脉冲激光沉积法(PLD)
2.1.3化学气相沉积法(CVD)
2.1.4喷雾热解法(Spray Pyrolysis)
2.1.5分子束外延(MBE)
2.1.6电子束蒸发法(E-beam evaporation)
2.1.7溶胶—凝胶法(Sol-gel)
2.2 ZnO薄膜的分析技术
2.2.1 X射线衍射(XRD)仪
2.2.2原子力显微镜(AFM)
2.2.3紫外—可见分光光度计
2.2.4荧光分光光度计
2.3本章小结
3 ZnO薄膜的蓝光发射机制研究
3.1 ZnO薄膜的理论发光模型
3.2 ZnO薄膜的蓝光发射机制研究进展
3.2.1锌填隙模型
3.2.2锌空位模型
3.2.3氧空位模型
3.2.4杂质引入模型
3.3 ZnO薄膜的蓝光发射机制探讨
3.4本章小结
4高温退火对生长在Si衬底上的不同结构ZnO薄膜的影响
4.1电子束蒸发法制备ZnO薄膜
4.1.1实验主要设备及原理
4.1.2实验方法与步骤
4.2实验结果与讨论
4.2.1不同退火温度对ZnO薄膜结构的影响分析
4.2.2不同退火温度对ZnO薄膜表面形貌的影响分析
4.2.3不同退火温度对ZnO薄膜发光特性的影响分析
4.3本章小结
5 Mg-Fe复掺杂对ZnO薄膜的结构与光学性质的影响
5.1溶胶—凝胶法制备Mg-Fe复掺杂的ZnO薄膜
5.1.1实验主要设备及原料
5.1.2实验样品的制备与表征
5.2实验结果与讨论
5.2.1 Mg-Fe复掺杂对ZnO薄膜结构的影响
5.2.2溶胶—凝胶法制备c轴择优取向ZnO薄膜的生长机制
5.2.3 Mg-Fe复掺杂对ZnO薄膜光学性质的影响
5.3本章小结
6结论与展望
致 谢
参考文献
附录
