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目录
第一章 绪 论
1.1 薄膜晶体管(TFT)简介
1.2 电荷泵技术(CP)简介
1.3 多晶硅薄膜晶体管简介
1.4 本文工作基础
1.5 本文的主要工作及论文结构安排
参考文献
第二章 电荷泵电流中几何电流分离研究
2.1 CP原理介绍
2.2 利用CP提取缺陷态密度及其能级分布
2.3 几何电流简介
2.4 几何电流分离方法
2.5 模型参数合理性分析
2.6 分离后电流分析及其合理性分析
2.7 新的缺陷态密度的提取方法
2.8 剩余空穴浓度的沟道长度关系的实验确认
2.9 本章小结
参考文献
第三章 关于产生几何电流的临界传输时间讨论
3.1 基于CP实验方法提取的临界传输时间
3.2 基于物理模型提取的临界传输时间
3.3 本章小结
参考文献
第四章 结论及未来工作
4.1 本文结论
4.2 未来工作
攻读硕士学位期间发表的论文
致谢
