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目录
第1章 绪论
1.1引言
1.2硫酸盐酸性镀铜的研究进展
1.3课题意义及研究内容
第2部分 试验方法及机械研磨电镀机理
2.1试验药品与试验仪器
2.2试验工艺流程
2.3镀层的表征方法
2.4机械研磨电镀理论
第3章 传统硫酸盐酸性镀铜工艺
3.1前言
3.2电流密度对镀层的影响
3.3葡萄糖对镀层的影响
3.4 TEP镀铜层硬度、Tafel曲线以及防渗碳性能
3.5本章小结
第4章 水平振动机械研磨镀铜层工艺的研究
4.1引言
4.2研磨珠直径为6 mm不同振荡频率对镀铜层性能的影响
4.3振荡频率3.5 Hz不同直径研磨珠对镀铜层性能的影响
4.4研磨珠直径为8 mm不同振荡频率对镀层的影响
4.5结论
第5章 摇摆方式机械研磨镀铜工艺的研究
5.1引言
5.2研磨珠直径对镀铜层性能的影响
5.3结论
第6章 结论及展望
6.1结论
6.2展望
参考文献
攻读硕士期间发表论文
致谢
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