高功率调制脉冲磁控溅射沉积NbN涂层的强韧性研究

声明

1 绪论

1.1 高功率脉冲磁控溅射技术沉积硬质涂层

1.2 硬质涂层的强韧化

1.2.1 多层结构对硬质涂层强韧性的影响

1.2.2 纳米复合结构对硬质涂层强韧性的影响

1.3 硬质涂层强韧性的研究

1.3.1 硬质涂层强韧性的实验研究

1.3.2 硬质涂层强韧性的理论研究

1.4 研究目的和内容

2 实验

2.1 实验装置

2.2 实验步骤

2.3 实验数据记录及分析

（1） 示波器

（2） 表面轮廓仪

（3） X射线衍射（XRD）

（4） 扫描电子显微镜（SEM）

（5） 透射电子显微镜（TEM）

（6） 压痕和纳米压痕

3 工艺参数对NbN涂层微结构和相组成的影响

3.1 氮气流量比的影响

3.2 微脉冲开启时间的影响

3.3 充电电压的影响

3.4 负偏压的影响

3.5 讨论

3.6 本章小结

4 工艺参数对NbN涂层力学性能的影响

4.1 氮气流量比的影响

4.2 微脉冲开启时间的影响

4.3 充电电压的影响

4.4 负偏压的影响

4.5 讨论

4.6 本章小结

5 结论

参考文献

攻读硕士学位期间发表学术论文情况

致谢

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