声明
1 绪论
1.1 课题背景
1.1.1 纯镍及镍合金的特点与应用
1.1.2 纯镍及镍合金的超精密加工技术现状
1.1.3 化学机械抛光技术及机理模型
1.2 课题研究的目的与意义
1.3 课题来源及本文的主要研究内容
1.3.2 主要研究内容
2 镍合金环保抛光液及其化学机械抛光工艺研究
2.1 实验仪器与样品
2.2 镍合金的机械抛光
2.2.1 研磨预处理
2.2.2 抛光垫种类及选择
2.2.3 机械抛光液成分及含量优化
2.2.4 机械抛光工艺参数优化
2.3 镍合金环保化学机械抛光液的研制
2.3.1 CMP抛光垫的选择
2.3.2 CMP抛光液成分及含量优化
2.4 镍合金化学机械抛光工艺参数优化
2.4.1 抛光压力及转速对CMP结果的影响
2.4.2 镍合金化学机械抛光结果
2.5 本章小结
3 镍合金化学机械抛光机理研究
3.1 X射线光电子能谱实验
3.1.1 XPS实验原理
3.1.2 XPS仪器及样品制备
3.1.3 结果分析
3.2 电化学实验
3.2.1 电化学实验原理及实验仪器
3.2.2 镍合金电化学实验
3.3 红外光谱实验
3.3.1 实验原理
3.3.2 实验仪器及样品制备
3.3.3 结果分析
3.4 抛光液性能检测
3.4.1 表面张力与接触角实验
3.4.2 抛光液磨料粒径分布
3.5 镍合金CMP机理分析
3.6 本章小结
4 纯镍的化学机械抛光及其抛光机理研究
4.1 实验样品及工艺路线设计
4.2 纯镍的机械抛光
4.2.1 抛光垫及磨料的选择
4.2.2 机械抛光工艺参数优化
4.3 纯镍的化学机械抛光
4.3.1 CMP抛光垫选择及抛光液优化
4.3.2 CMP工艺参数的优化
4.3.3 纯镍化学机械抛光结果
4.4 纯镍的XPS实验
4.4.1 样品制备
4.4.2 结果分析
4.5 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
