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摘要
1 绪论
1．1 喷墨打印头的发展历史
1．2 喷墨打印头储墨腔室制造工艺研究现状
1．2．1 湿法刻蚀制造喷墨打印头腔室
1．2．2 高温键合制造喷墨打印头腔室
1．2．3 利用牺牲层制造喷墨打印头腔室
1．2．4 粘结制造喷墨打印头腔室
1．3 喷墨打印头市场比例分布
1．4 压电式喷墨打印头腔室研究现况
1．5 本文主要研究内容
2 压电式喷墨打印头一体化腔室结构设计
2．1 一体化腔室流体分析理论
2．2 一体化腔室喷孔尺寸设计
2．3 一体化腔室限流部结构尺寸设计
2．4 本章小结
3 压电式喷墨打印头一体化腔室工艺方案与材料选取
3．1 一体化腔室制造工艺方案
3．1．1 利用牺牲层技术制造压电式喷墨打印头一体化腔室实验
3．1．2 键合与光刻工艺制造压电式喷墨打印头一体化腔室方案
3．2 一体化腔室材料选取
3．3 本章小结
4 非晶态聚合物粘弹性特性、键合机理理论研究及键合参数优化
4．1 非晶态聚合物粘弹性特性、流变行为及键合机理
4．1．1 非晶态聚合物粘弹性理论模型
4．1．2 温度依赖性对非晶态聚合物的影响
4．1．2 时间依赖性对非晶态聚合物的影响
4．1．3 热键合机理
4．2 键合质量评价指标
4．2．1 键合后腔室变形量
4．2．2 键合率
4．2．3 键合强度
4．3 热键合参数优化实验
4．3．1 热键合温度参数优化
4．3．2 热键合压力参数优化
4．3．3 热键合时间参数优化
4．4 本章小结
5 压电式喷墨打印头一体化腔室制造工艺研究
5．1 工艺实验
5．1．1 实验设备
5．1．2 实验材料
5．1．3 一体化腔室制造工艺流程
5．2 实验结果与分析
5．2．1 SU-8光刻胶厚胶光刻
5．2．2 后烘条件对SU-8光刻质量的影响
5．2．3 键合层基底的影响
5．2．4 喷孔的显影
5．3 本章小结
6 压电式喷墨打印头一体化腔室测试
6．1 一体化腔室拉伸强度测试
6．2 一体化腔室充墨测试
6．3 一体化腔室喷墨测试
6．4 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
