模具铸层平整性及多样截面微结构制作方法

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摘要

1 绪论

1．1 MEMS简介

1．2 金属微结构模具的制作方法

1．2．1 常用的金属微结构模具加工技术

1．2．2 微电铸技术理论

1．3 微电铸铸层表面不平整问题的研究现状

1．3．1 弯曲变形现象和电铸瘤现象

1．3．2 改善模具铸层表面平整性的研究现状

1．4 微电铸多样化截面微结构镍模具的研究现状

1．5 本文主要工作内容

2 微电铸技术工艺基础

2．1 微电铸平台的设计与搭建

2．2 微电铸溶液成分与工艺参数的优化

2．2．1 微电铸溶液成分的优化

2．2．2 微电铸工艺参数的优化

2．3 本章小结

3 微电铸金属铸层弯曲变形问题的研究

3．1 金属铸层弯曲变形的理论研究

3．1．1 铸层弯曲变形产生原因

3．1．2 电流参数对铸层弯曲变形的影响

3．2 金属铸层弯曲变形程度的测量方法

3．3 电流参数对铸层弯曲变形影响的实验研究

3．3．1 实验过程

3．3．2 实验结果与分析

3．4 本章小结

4 消除铸层电铸瘤的阴极屏蔽结构设计

4．1 电铸瘤的产生原因

4．2 阴极屏蔽结构的仿真设计与实验研究

4．2．1 电流密度分布理论模型分析

4．2．2 屏蔽结构对电流密度分布影响的仿真分析

4．2．3 实验结果与仿真结果比较分析

4．3 阴极屏蔽结构的改进设计与实验结果

4．4 本章小结

5 微电铸多样截面微结构镍模具的工艺研究

5．1 三角形截面微结构镍模具的制作

5．2 矩形截面微结构镍模具的制作

5．3 拱门形截面微结构金属模具的制作

5．3．1 硅的各向同性湿法刻蚀实验研究

5．3．2 制作工艺路线及实验结果

5．3 本章小结

结论

参考文献

攻读硕士学位期间发表学术论文情况

攻读硕士学位期间获得的荣誉

致谢