热处理对溶胶—凝胶旋涂法制备ITO薄膜性能的影响

声明

摘要

引言

1 ITO薄膜材料概述

1．1 ITO薄膜的晶体结构和能带结构

1．1．1 ITO薄膜晶体结构

1．1．2 ITO薄膜的能带结构

1．2 ITO薄膜的光学原理和电学原理

1．2．1 ITO薄膜的电学原理

1．2．2 ITO薄膜的光学原理

1．3 ITO薄膜的应用

1．3．1 平面显示应用

1．3．2 电致变色窗

1．3．3 太阳能电池

1．3．4 微波屏蔽和防护镜

1．3．5 交通工具风挡

1．3．6 气敏元件

1．4 ITO薄膜的制备方法

1．4．1 磁控溅射法(Magnetron sputtering)

1．4．2 真空蒸发法(vacuum evaporation)

1．4．3 喷雾热分解(Spray pyrolysis)

1．4．4 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)

1．4．5 脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition)

1．4．6 溶胶-凝胶法(Sol-Gel Method)

2 溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的研究进展

2．1 退火对ITO薄膜性质的影响的研究进展

2．1．1 退火对ITO薄膜中Sn浓度的影响

2．1．2 退火对ITO薄膜质量、表面形貌的影响

2．1．3 退火对ITO薄膜导电性质的影响

2．1．4 退火对ITO薄膜透射性质的影响

2．2 制备ITO溶胶的方法

3 本文的实验过程及表征方法

3．1 本文的实验过程

3．2 本文实验的注意事项

3．3 本文使用的表征方法

3．3．1 X射线衍射表征晶体结构(XRD)

3．3．2 扫描电子显微镜表征表面形态(SEM)

3．3．3 四探针法表征电阻率

3．3．4 紫外-可见分光光度计表征透射率

4 退火温度对ITO薄膜的影响

4．1 XRD分析

4．2 SEM分析

4．3 透过率分析

4．4 电阻率分析

5 退火时间间隔对ITO薄膜的影响

5．1 XRD分析

5．2 SEM分析

5．3 透过率分析

5．4 电阻率分析

结论

参考文献

攻渎硕士学位期间发表学术论文情况

致谢