超薄铜薄膜的拉伸强度与疲劳行为的研究

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第一章绪论

1.1薄膜材料简介

1.2薄膜的制备方法

1.3块体材料的疲劳行为与理论

1.4金属薄膜的疲劳研究进展

1.5金属薄膜的疲劳实验方法介绍

1.6本文研究的目的与内容

第二章实验方法

2.1引言

2.2本实验所采用的实验方法及原理

2.2.1铜薄膜拉伸实验方法

2.2.2铜薄膜疲劳实验方法

2.3基体实验

2.3.1基体的选择

2.3.2基体试样制备

2.3.3基体的热处理

2.4铜薄膜的制备

2.4.1铜薄膜制备方法

2.4.2拉伸及疲劳样品制备

2.4.3拉伸及疲劳样品热处理

2.5铜薄膜的表征

2.5.1铜薄膜表面的SEM表征

2.5.2聚焦离子束(FIB)表征

2.5.3 X射线衍射分析

2.6拉伸实验

2.7疲劳实验

第三章超薄铜薄膜的拉伸性能

3.1引言

3.2实验结果

3.2.1基体的拉伸性能

3.2.2铜薄膜的表征

3.2.3铜薄膜的屈服强度

3.3讨论与分析

3.3.1薄膜屈服强度与薄膜厚度的关系

3.3.2变形后的铜薄膜微观观察

3.4本章小结

第四章超薄铜薄膜的疲劳强度与疲劳损伤行为

4.1引言

4.2疲劳实验设想

4.3实验方法

4.3.1恒总应变范围控制循环加载方法

4.3.2恒总载荷范围控制循环加载方法

4.4实验结果

4.4.1恒总应变范围法

4.4.2恒总载荷范围法

4.5热处理对薄膜的疲劳寿命的影响

4.6讨论与分析

4.7本章小结

第五章结论

参考文献

致谢

攻读学位期间发表的论文