光电位置敏感器件物理性能分析及其在激光准直测量中的应用

文摘

英文文摘

独创性声明及学位论文版权使用授权书

第一章绪论

1.1PSD的发展历史和趋势

1.1.1光电探测器的研究发展概况

1.1.2PSD的发展历史和趋势

1.2PSD现存问题

1.2.1 PSD的非线性

1.2.2 PSD背景光的干扰

1.2.3暗电流和温度

1.2.4入射光斑模式和入射光强

1.2.5指示光源的影响

1.2.6信号处理电路的影晌

1.3 PSD在激光准直测量中的应用

1.3.1转轴对中研究

1.3.2激光对中系统国内外发展现状

1.4本研究工作的主要内容

第二章PSD工作原理及特性分析

2.1一维PSD工作原理

2.2二维PSD工作原理

2.3位置检测误差

2.4位置分辨率

2.5响应速度

2.6饱和光电流

2.7光谱响应

2.8暗电流

2.9本章小结

第三章 PSD非线性修正

3.1神经网络基本原理

3.1.1概述

3.1.2多层网络的误差逆传播校正方法(BP算法)

3.2基于共轭梯度优化算法的非线性修正

3.2.1误差函数离散化

3.2.2非线性校正的方法

3.2.3非线性训练样本的获取及网络结构参数和训练算法的选择

3.2.4计算机仿真及结果

3.3本章小结

第四章PSD物性测试及影响因素

4.1背景光对PSD的影响

4.1.1背景光工作原理与特性

4.1.2实验方法与条件

4.1.3实验结果与分析

4.2PSD背景光的补偿方法

4.2.1光学滤波法

4.2.2光电法

4.2.3神经网络法

4.3入射光强对光电位置坐标传感器精度的影响

4.3.1实验材料与方法

4.3.2实验结果分析与讨论

4.4光斑模式对PSD的影响

4.4.1双光束对线阵(一维)PSD定位研究

4.4.2双光束对面阵(二维)PSD定位研究

4.4.3实验方法

4.4.4实验结果与分析

4.5本章小结

第五章PSD在激光准直测量中的应用

5.1不对中故障机理

5.1.1机器不对中产生的问题

5.1.1齿轮联轴器的联接转子不对中的故障机理

5.1.2刚性联轴器联接转子不对中的故障机理

5.1.3转子不对中的敏感参数

5.2不对中故障检测方法

5.2.1间接测量法

5.2.2直接测量法

5.3激光对中仪的设计与实现

5.3.1激光对中仪的对中原理

5.3.2数学模型的建立

5.4本章小节

第六章研究成果总结与展望

6.1研究工作总结

6.2展望

致谢

参考文献

作者简介

攻读博士学位期间发表的论文与科研情况

论著

科研工作

获奖情况