等离激元和随机粗化结构在氮化镓表面的制备与应用

文摘

英文文摘

第一章 绪论

1.1 引言

1.2 氮化镓的结构与基本性质

1.3 氮化镓基LED

1.3.1 氮化镓基LED的结构

1.3.2 氮化镓基LED的工作原理

1.4 提高氮化镓基LED发光效率的方法

1.4.1 表面等离激元提高LED发光效率

1.4.2 表面粗化提高LED发光效率

1.4.3 其他方法提高LED发光效率

1.5 研究目的和主要研究内容

参考文献

第二章 氮化镓表面等离激元结构的制备

2.1 引言

2.2 实验步骤

2.3 结果与讨论

2.3.1 银纳米颗粒生长在n型氮化镓表面

2.3.2 n型氮化镓表面生长银纳米分叉结构

2.3.3 p型氮化镓和量子阱表面生长银纳米晶

2.3.4 生长机理

2.4 结论

参考文献

第三章 氮化镓的光化学刻蚀与表面粗化

3.1 引言

3.2 垂直结构LED的表面粗化

3.2.1 垂直结构LED表面粗化原理

3.2.2 实验方法

3.2.3 结果与讨论

3.3 光化学法制造纳米多孔p型氮化镓

3.3.1 p型氮化镓光化学腐蚀原理

3.3.2 实验方法

3.3.3 结果与讨论

3.4 结论

参考文献

第四章 氮化镓缺陷选择性腐蚀与表面粗化

4.1 引言

4.2 实验方法

4.3 结果与讨论

4.3.1 n型氮化镓的选择性湿法刻蚀

4.3.2 p型氮化镓的选择性湿法刻蚀与表面粗化

4.3.3 腐蚀坑中生长银纳米晶

4.4 结论

参考文献

第五章 结论与展望

5.1 主要结论

5.2 本论文的创新点

5.3 有待进一步开展的工作

致谢

攻读硕士期间取得的科研成果

学位论文评阅及答辩情况表