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一种过压保护器的关键性能研究与改进

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摘要

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第一章 绪论

1.1 半导体保护器件简介

1.2 半导体保护器件的发展现状

1.2.1 国外发展概况

1.2.2 国内发展概况

1.3 选题背景和意义

1.4 论文的主要研究内容

1.5 论文的内容安排

第二章 开关型晶闸管保护器件的工作原理

2.1 晶闸管简介

2.1.1 正向工作

2.1.2 反向工作

2.2 基本工作原理

2.2.1 高阻工作

2.2.2 正向击穿

2.2.3 正向导通

2.2.4 器件关断

2.2.5 反向阻断

2.3 器件的触发原理

2.4.1 热触发

2.4.2 光触发

2.4.3 阳极电流触发

2.4.4 门极的触发原理

第三章 保护器件B72XX的主要特性参数及其应用研究

3.1 主要特性参数

3.1.1 静态特性参数

3.1.2 动态特性参数

3.2 工作原理

3.3 应用研究

3.3.1 电流触发应用

3.3.2 电压跟随保护应用

3.4 典型应用

第四章 提升应用电压的方法研究

4.1 提高平面PN结反向击穿电压的措施

4.1.1 平面PN结的终端效应

4.1.2 衬底材料电阻率对PN结击穿电压的影响

4.1.3 场版对PN结击穿电压的影响

4.1.4 结面终端曲率半径对PN结击穿电压的影响

4.1.5 介质层对PN结击穿电压的影响

4.2 VAK的提升

4.2.1 VAK的影响因素分析

4.2.2 VAK摸底测试及分析

4.2.3 提高VAK的措施

4.2.4 效果验证

4.3 提高控制三极管的发射结反向击穿电压VEB的措施

4.3.1 VEB的影响因素分析

4.3.2 VEB的控制

4.3.3 提高VEB、控制β值的措施

4.3.4 调整过程

4.3.5 实际效果

4.4 应用电压提升的整体效果

第五章 降低通态电压的方法研究

5.1 影响通态电压的因素分析

5.2 降低体压降Vi的措施

5.2.1 减薄N1区的厚度

5.2.2 少子寿命的控制

5.3 降低结压降Vj

5.3.1 α1的增大

5.3.2 α2的增大

5.4 降低接触压降VS

5.5 降低通态电压VT的整体效果

第六章 结束语

参考文献

致谢

作者简介

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摘要

半导体过压保护器件是一种新型的电压抑制器,由于其响应速度快、体积小、性能稳定、短路保护及单位面积吸收浪涌能力强而广泛地应用于通信设备的抗浪涌保护电路中。本课题主要是针对机理复杂、目前应用广泛的开关型半导体保护器件的机理进行研究,分析各参数的意义以及与制造过程中各工艺的关系,研究关键工艺控制点和控制的方法,进而提高现有半导体保护器件的性能,使之能够替代进口产品,提高我国在该领域的生产设计水平,使之达到国际同类产品水平。
  本文首先分析了半导体保护器件的基本结构,建立了器件模型,深入研究了各工作状态下的工作机理和器件的触发机制,重点对器件的正向导通、正向阻断和门极触发等最重要的工作状态的机理进行了探究,为进行后续性能改进提供理论基础。其次,分析了器件的基本特性参数和各种应用方法,重点对电压保护应用进行了分析,提出了需要改进的性能参数。再次,针对需要改进的性能参数,结合器件的物理结构和工艺特点,分析了影响器件关键性能参数的工艺因素,提出了改进的方法,进行了相关工艺实验,并根据实验结果,综合优化了改进方案。最后,对优化的方案进行了产品的批量流片验证,证明了优化方案的可行性和可靠性,最终使得产品的性能得到了改进。

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