封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第一章 绪论
1.1 激光偏转/扫描技术
1.2 光学相控阵技术的发展
1.3 光波导光学相控阵
1.4 本论文主要工作
第二章 光波导阵列电光扫描器的工作原理
2.1 晶体线性电光效应
2.2 光波导阵列电光扫描器的工作原理
2.3 光波导阵列电光扫描器的电控理论
第三章 光波导阵列电光扫描器芯片的制作
3.1 结构参数设计
3.2芯片的制作
3.3芯片电特性测试
3.4 本章小结
第四章 光波导阵列电光扫描器光束扫描实验的研究
4.1 影响光场特性的因素
4.2 电控系统输出校准
4.3 电控方式对光束扫描的影响
4.4 光波导电特性对光束扫描的影响
4.5 光束扫描速度测试
4.6 本章小结
第五章 总结
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间的研究成果