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目录
1 绪论
1.1 太阳能电池简介
1.2 硅薄膜太阳能电池
1.3 硅薄膜的制备方法
1.4 硅薄膜的生长过程
1.5 本课题的研究目的及意义
1.6 技术路线
2 实验设备及方法
2.1 实验材料及预处理
2.2 样品制备
2.3 薄膜性能表征
3 沉积时间对硅薄膜微观结构和光/电学性能的影响
3.1 不同沉积时间硅薄膜的微观结构
3.2 不同沉积时间硅薄膜的光学性能
3.3 不同沉积时间硅薄膜的电学性能
3.4 本章小结
4 反应气体气流量对硅薄膜微观结构和光/电学性能的影响
4.1 不同反应气体气流量硅薄膜的微观结构
4.2 不同反应气体气流量硅薄膜的光学性能
4.3 不同反应气体气量硅薄膜的电学性能
4.4 本章小结
5 结论
致谢
参考文献
攻读研究生期间发表的论文