0603型钽电解电容器关键工艺的研究

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随着电子元件片式化和小型化的发展，以往尺寸的钽电解电容器已不能适应这种潮流的变化，急需更小尺寸的钽电解电容器满足现代市场的要求。0603型钽电解电容器是目前最小尺寸片式钽电容器。钽电解电容器工艺上主要有两大技术上难点：①氧化膜质量；②阴极MnO2被覆质量。
　　本文就制约高比容钽粉的应用而出现的钽电解电容器氧化膜质量和阴极MnO2被覆质量两大技术上难点进行了深入研究。首先，从理论上对0603型钽电解电容器氧化膜的生长工艺参数和阴极MnO2被覆工艺参数进行了深入分析，得到赋能和被膜工艺的解决方案；然后，通过大量氧化膜生长和阴极MnO2被覆实验，确定了赋能和被膜优化工艺参数。通过分析电容器表征参数分别得到赋能和被膜工艺参数：①在形成氧化膜过程中，温度为70℃的0.2％(体积比)硝酸溶液，适中的升流密度40mA/g和恒压时间5小时，250℃/10min热处理得到的氧化膜质量最好，介质漏电流最低。②最佳内部MnO2被覆为添加2％(重量比)硝酸铵1.20g/ml硝酸锰溶液，浸渍6次。钽电容器容量引出率最高，损耗最低。③最佳外部Mn02被覆为添加1％(重量比)硝酸铵1.86g/ml硝酸锰溶液，浸渍2次，可以得到损耗和ESR很低，漏电流比较小产品。产品施加合适的再形成电压，可以大大降低产品的漏电流。最后，通过规格为6.3V4.7μF产品表征参数测试结果表明：产品电性能符合IEC-535BAAC国际标准，验证了氧化膜生长工艺和阴极被覆参数的正确性。
　　为今后0603型钽电解电容器产品制造，解决了氧化膜的生长工艺和阴极MnO2被覆工艺两大技术难点。

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作者
徐云飞;
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作者单位

西安理工大学;

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授予单位西安理工大学;
学科微电子学与固体电子学
授予学位硕士
导师姓名李春光,安涛;
年度 2012
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类制造工艺、安装;
关键词
0603型钽电解电容器; 高比容钽粉; 氧化膜生长; 阴极MnO2被覆;

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