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第一章 绪论
第二章 分立活塞式MEMS微变形镜设计与分析
2.1引言
2.2分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计
2.3微变形镜阵列的远场光学衍射性能分析
2.4微变形镜设计中的空气压膜阻尼分析
2.5微变形镜单元及其阵列的掩膜版图设计
2.6工艺流程制定及流片结果
2.7本章小结
第三章 薄膜残余应力产生根源及对微变形镜性能的影响
第四章 薄膜残余应力测量技术研究
第五章 薄膜残余应力控制技术研究
总结与展望
参考文献
硕士期间发表的学术论文和申请的专利
参与课题情况
致谢
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