基于叉指式共面波导的RF MEMS开关线型移相器研究

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第一章绪论

1.1 MEMS技术简介

1.2 RF MEMS概述

1.2.1 RF MEMS器件简介

1.2.2 RF MEMS传输线研究进展

1.2.3 RF MEMS移相器研究进展

1.3本论文研究内容

参考文献

第二章叉指式共面波导及开关线型移相器设计

2.1叉指式共面波导设计与优化

2.1.1传统共面波导传输线

2.1.2叉指式共面波导结构设计与优化

2.1.3地线埋入式叉指式共面波导结构

2.1.4新型共面波导结构设计小结

2.2开关线型移相器设计

2.2.1射频微机械开关设计

2.2.2移相器整体布局

2.3本章小结

参考文献

第三章实验制作工艺研究

3.1整体工艺设计

3.2主要工艺研究

3.2.1光刻工艺

3.2.2电镀工艺

3.2.3绝缘层工艺

3.2.4牺牲层工艺

3.2.5研磨工艺

3.2.6释放工艺

3.3工艺流程

3.4本章小结

第四章叉指式共面波导及移相器性能测试

4.1叉指式共面波导性能测试

4.1.1等效二端口微波网络

4.1.2叉指式共面波导的微波特性测量

4.1.3地线埋入式叉指式共面波导测试

4.2静电开关测试

4.2.1开关隔离度测试

4.2.2开关驱动电压测试

4.3移相器测试

4.4本章小结

参考文献

第五章总结与展望

致谢

攻读博士学位期间发表的学术论文